行星减速机在安装使用过程中，出现振动情况的发生，大致有以下几点故障种类，需仔细辨别并及时排除。
1检查伺服电机和行星减速机是否匹配
相同功率的伺服电机由于转速指标和扭矩指标的不相同，所以采用硬连接的伺服电机_有这两方面参数的考量，扭矩达不到行星减速机所需的扭矩，可造成行星减速机和伺服电机产生振动和不转的现象发生。
2设备基础能否满足要求
行星减速机和伺服电机都是相对有些重量的设备，而其使用运行中_要借用基础的力量来满足设备运行时产生的应力，因此设备基础较为重要了，基础的重量能够起到消除振动的作用，设备振动点的振动量与基础产生了硬连接，会放大振动量。
3安装不良
伺服减速机设备振动一般是以两个方向为基本，即径向和轴向，也可称为径向跳动和轴向跳动，两台设备连接特别是硬连接，其中一台设备的连接轴出现跳动，都会带来设备运行时的跳动放大，运行中径向和轴向跳动都是呈几何倍数增加的，联轴器能够_这一方面的缺陷，但是一旦_过了联轴器所能消除的范围，还是不能解决振动问题。
4负载是否正常
_设备具有一个负载指标，这个指标不仅仅是指所携带的负载数量，还需要加上设备运行的阻力，环境的不足等等，因此对负载的判定也是分析振动故障的一个重要参数。
5电能供应问题
由于目前企业大量采用了变频、变压技术，所以造成了企业电网有不良波产生，谐波也是其中的一个类别，如果伺服电机携带负载运行启动，而电能供给的不足或紊乱会造成电动机处于半联动状态，从而导致设备产生振动。
由此而见，
伺服行星减速机和伺服电机设备产生振动的现象不是一个独立故障，而是一个综合性的故障，其可能造成设备的损坏和事故的发生，因此要尽快查明故障原因并消除。
