精密行星减速机的精度高低取决于不同因素影响，其中齿轮的加工工艺环节尤为重要，一些工厂在普通插齿加工基础上，对硬齿面插齿工艺的研究也取得了进步。目前，基本可插制48HRC左右的硬齿面７级精度齿轮。
在加工时须注意以下几点事项：
1、提高插齿机床的刚度和精度，提高传动链精度；
2、采用高精度插齿刀（ 2a级插齿刀），严格控制刀具的安装偏心；
3、提高行星齿圈和夹具的精度；
4、选取合理的进给次数和加工进给量等。
精密行星减速机齿轮的精细加工和精密研磨，可提高精密度和有效降低噪音，并增加使用寿命。
